发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DER EMITTERZONE EINES PLANARTRANSISTORS
摘要
申请公布号 ATA546075(A) 申请公布日期 1983.03.15
申请号 AT19750005460 申请日期 1975.07.15
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人
分类号 H01L21/76;H01L21/00;H01L21/225;H01L21/285;H01L21/331;H01L21/8222;H01L29/73;(IPC1-7):H01L21/265;H01L29/72 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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