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发明名称 프라즈마 에칭에 의한 고함량 알미늄 표면을 갖는 장치의 제조방법
摘要 <p>내용 없음.</p>
申请公布号 KR830000596(B1) 申请公布日期 1983.03.15
申请号 KR19790002600 申请日期 1979.07.31
申请人 null, null 发明人 하이멘 죠셉 리빙스 타인;데이비드 닌-코우 왕
分类号 H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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