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发明名称 OPTICAL APPARATUS FOR INSPECTING DEFECTS
摘要
申请公布号 GB2044921(B) 申请公布日期 1983.03.09
申请号 GB19800000586 申请日期 1980.01.08
申请人 TOKYO SHIBAURA DENKI KK 发明人
分类号 G01N21/89;(IPC1-7):G01B11/00;G01N21/47 主分类号 G01N21/89
代理机构 代理人
主权项
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