| 发明名称 |
DEVICE FABRICATION USING GAS-SOLID PROCESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2104650(A) |
申请公布日期 |
1983.03.09 |
| 申请号 |
GB19820020425 |
申请日期 |
1982.07.14 |
| 申请人 |
* WESTERN ELECTRIC COMPANY INCORPORATED |
发明人 |
VINCENT MICHAEL * DONNELLY;DANIEL LAWRENCE * FLAMM;ROBERT FRANK * KARLICEK |
| 分类号 |
H01L21/302;C23C16/52;C23F4/00;G01N21/64;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):G01N21/64 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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