REACTIVE ION ETCHING DEVICE,申请号JP19810138827-传众专利搜索

发明名称	REACTIVE ION ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号	JPS5839783(A)	申请公布日期	1983.03.08
申请号	JP19810138827	申请日期	1981.09.03
申请人	TOKYO SHIBAURA DENKI KK	发明人	UEDA YOSHIYA;OKUTSU FUMIE;SUZUKI YASUHARU;SHIBAGAKI MASAHIRO
分类号	C23F4/00;C23F1/08	主分类号	C23F4/00
代理机构		代理人
主权项
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