发明名称 INTEGATED PACKAGE AND THIN FILM HEAT EXCHANGER FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5839044(A) 申请公布日期 1983.03.07
申请号 JP19820137153 申请日期 1982.08.06
申请人 XEROX CORP 发明人 JIYON UIRIAMU SURIWA JIYUNIA
分类号 H01L23/473;H01L23/36 主分类号 H01L23/473
代理机构 代理人
主权项
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