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发明名称
摘要
申请公布号
JPS5834731(U)
申请公布日期
1983.03.07
申请号
JP19810128475U
申请日期
1981.08.28
申请人
发明人
分类号
G03F1/00;G03F1/38;H01L21/027;H01L21/30
主分类号
G03F1/00
代理机构
代理人
主权项
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