发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5839070(A) 申请公布日期 1983.03.07
申请号 JP19810136773 申请日期 1981.08.31
申请人 TOKYO SHIBAURA DENKI KK 发明人 YAKUSHIJI SHIGENORI;YASAKA SUSUMU
分类号 H01L21/322;H01L29/167;H01L29/861;H01L29/868 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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