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发明名称 DEVICE FABRICATION BY PLASMA ETCHING
摘要
申请公布号 KR1019830000573(B1) 申请公布日期 1983.03.04
申请号 KR1019790002601 申请日期 1979.07.31
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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