发明名称
摘要
申请公布号 JPS5810892(Y2) 申请公布日期 1983.02.28
申请号 JP19770039645U 申请日期 1977.03.28
申请人 发明人
分类号 B05B17/06;B06B1/06;F24F3/14;F24F6/00;F24F6/12;H01L41/00;(IPC1-7):F24F6/12 主分类号 B05B17/06
代理机构 代理人
主权项
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