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发明名称 SPUTTERING
摘要
申请公布号 US3654123(A) 申请公布日期 1972.04.04
申请号 USD3654123 申请日期 1968.09.25
申请人 BENDIX CORP.:THE 发明人 DENNIS G. HAJZAK
分类号 C23C14/04;C23C14/35;(IPC1-7):C23C15/00 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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