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VERFAHREN ZUR BILDUNG EINES ISOLIERFILMES UND DANACH HERGESTELLTES HALBLEITERELEMENT
摘要
申请公布号
DE1917995(B2)
申请公布日期
1972.04.13
申请号
DE19691917995
申请日期
1969.04.09
申请人
发明人
分类号
C23C16/30;H01L21/314;(IPC1-7):C23C11/08
主分类号
C23C16/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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