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发明名称 METHOD OF MONITORING OXYGEN CONTENT IN SILICON
摘要
申请公布号 SU999128(A1) 申请公布日期 1983.02.23
申请号 SU19803213623 申请日期 1980.12.08
申请人 INSTFIZ POLUPROVODNIKOV SO AN SSSR 发明人 VASILEV ALBERT V,SU;SMAGULOVA SVETLANA A,SU;SHAJMEEV SERGEJ S,SU
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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