发明名称 LIGHT-SENSITIVE COMPOSITION
摘要
申请公布号 EP0006561(B1) 申请公布日期 1983.02.16
申请号 EP19790101994 申请日期 1979.06.18
申请人 HOECHST AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 BUHR, GERHARD, DR.;RUCKERT, HANS, DR.
分类号 G03C1/72;C08L61/00;C08L61/04;G03F7/022;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/08;C07C143/68 主分类号 G03C1/72
代理机构 代理人
主权项
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