发明名称 |
REFINING SILICON TETRAFLUORIDE GAS |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2103198(A) |
申请公布日期 |
1983.02.16 |
申请号 |
GB19820019951 |
申请日期 |
1982.07.09 |
申请人 |
* CENTRAL GLASS COMPANY LIMITED |
发明人 |
NAOMICHI * KITSUGI;TERUO * FUJINAGA;TOYOZO * OTSUKA |
分类号 |
C01B33/02;C01B33/037;C01B33/107;(IPC1-7):C01B33/08 |
主分类号 |
C01B33/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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