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发明名称 EXPOSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5825638(A) 申请公布日期 1983.02.15
申请号 JP19810124211 申请日期 1981.08.08
申请人 CANON KK 发明人 SUZUKI AKIYOSHI;SATOU HIROSHI;KOMATA TAKASHI;KOSUGI MASAO
分类号 G03B27/32;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03B27/32
代理机构 代理人
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