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发明名称 ELEKTRISCH LEITENDE PROBENHALTERUNG FUER DIE ANALYSENTECHNIK DER SEKUNDAERIONEN-MASSENSPEKTROMETRIE
摘要
申请公布号 DE3128814(A1) 申请公布日期 1983.02.10
申请号 DE19813128814 申请日期 1981.07.21
申请人 SIEMENS AG 发明人 VON,DIPL.-PHYS. CRIEGERN,ROLF;WEITZEL,INGO,DIPL.-PHYSIKER
分类号 G01Q30/16;H01J37/20;H01J37/252;H01J49/04;(IPC1-7):G01N23/22;H01J49/14;H01L21/66 主分类号 G01Q30/16
代理机构 代理人
主权项
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