发明名称 PLASMA ETCHER
摘要
申请公布号 GB2055329(B) 申请公布日期 1983.02.09
申请号 GB19800023946 申请日期 1980.07.22
申请人 HITACHI LTD 发明人
分类号 B23K10/00;C30B33/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3215;(IPC1-7):C23F1/02 主分类号 B23K10/00
代理机构 代理人
主权项
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