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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5821866(A) 申请公布日期 1983.02.08
申请号 JP19810120109 申请日期 1981.07.31
申请人 TOKYO SHIBAURA DENKI KK 发明人 KOYANAGI TSUTOMU;KIMURA JIYUNZOU
分类号 H01L27/06;H01L21/331;H01L21/8222;H01L27/07;H01L29/417;H01L29/423;H01L29/73 主分类号 H01L27/06
代理机构 代理人
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