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发明名称 ETCHING METHOD FOR SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPS5821335(A) 申请公布日期 1983.02.08
申请号 JP19810117632 申请日期 1981.07.29
申请人 TOKYO SHIBAURA DENKI KK 发明人 NATSUME YOSHINORI
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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