发明名称 APPARATUS FOR FORMING MEMBRANE
摘要
申请公布号 JPS5820230(A) 申请公布日期 1983.02.05
申请号 JP19810120135 申请日期 1981.07.31
申请人 TOKYO SHIBAURA DENKI KK 发明人 KAGA HIDEKAZU
分类号 H01J37/32;B01J19/08;C23C16/50 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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