发明名称 ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPS5819477(A) 申请公布日期 1983.02.04
申请号 JP19810117070 申请日期 1981.07.28
申请人 INOUE JAPAX KENKYUSHO KK 发明人 INOUE KIYOSHI
分类号 C23F1/00;C23F4/04 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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