发明名称 IMPROVED CAPACITANCE PRESSURE SENSOR
摘要 Un détecteur de pression capacitif possède un organe de diaphragme (12), une partie duquel est conductrice et forme une première électrode de condensateur (18A). Le détecteur possède également un organe de disque de référence (14) dont une partie est conductrice et forme une deuxième électrode capacitive (28A). L'organe de diaphragme (12) et l'organe de disque de référence (14) sont maintenus dans une relation d'espacement l'un sur l'autre au moyen d'un organe d'entretoise périphérique (16). En réponse à la pression, l'organe de diaphragme (12) se déforme par rapport à l'organe de disque de référence (14) modifiant ainsi l'écartement capacitif entre l'organe de diaphragme (12) et l'organe de disque de référence (14). L'organe de diaphragme (12), l'organe de disque de référence (14) et l'organe d'entretoise (16) se composent sensiblement du même matériau. L'organe d'entretoise (16) est disposé entre l'organe de diaphragme (12) et l'organe de disque de référence (14) à proximité de leurs bords extérieurs et l'organe de diaphragme (12), l'organe de disque de référence (14) et l'organe d'entretoise (16) sont ensuite soudés ensemble.
申请公布号 WO8300385(A1) 申请公布日期 1983.02.03
申请号 WO1982US00963 申请日期 1982.07.16
申请人 ROSEMOUNT INC. 发明人 RUD, STANLEY, E.
分类号 G01L9/12;G01L9/00;G01L19/02;(IPC1-7):01L9/12 主分类号 G01L9/12
代理机构 代理人
主权项
地址