| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR TREATING WORKPIECE WITH BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5818855(A) |
申请公布日期 |
1983.02.03 |
| 申请号 |
JP19820120702 |
申请日期 |
1982.07.13 |
| 申请人 |
EATON CORP |
发明人 |
BUIKUTAA MORISU BENBUENISUTO;PIITAA HENRII ROOZU |
| 分类号 |
H01J37/20;H01J37/317;H01L21/00;H01L21/265 |
主分类号 |
H01J37/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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