发明名称 METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTORS MEMORY DEVICE
摘要
申请公布号 GB2102623(A) 申请公布日期 1983.02.02
申请号 GB19820017405 申请日期 1982.06.16
申请人 * TOKYO SHIBAURA DENKI KK 发明人 HIDEO * NOGUCHI;TUGUNARI * IWAMOTO
分类号 H01L21/8246;H01L27/112;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/8246
代理机构 代理人
主权项
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