| 发明名称 |
METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE WITH AN INTERCONNECTION ELECTRODE LAYER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0050972(A3) |
申请公布日期 |
1983.01.26 |
| 申请号 |
EP19810305009 |
申请日期 |
1981.10.23 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA DENKI KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
SHIMA, SHOHEI |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/88;H01L21/30 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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