发明名称 MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR COMPOSITE
摘要
申请公布号 GB2046178(B) 申请公布日期 1983.01.26
申请号 GB19800008834 申请日期 1980.03.14
申请人 LICENTIA PATENT-VERWALTUNGS GMBH 发明人
分类号 C03C15/00;C03C27/00;C30B33/00;H01J9/12;H01J9/233;H01J29/38;H01J29/45;H01L21/306;H01L21/316;H01L29/12;H01L31/00;(IPC1-7):H01J9/12 主分类号 C03C15/00
代理机构 代理人
主权项
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