发明名称 |
MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR COMPOSITE |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2046178(B) |
申请公布日期 |
1983.01.26 |
申请号 |
GB19800008834 |
申请日期 |
1980.03.14 |
申请人 |
LICENTIA PATENT-VERWALTUNGS GMBH |
发明人 |
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分类号 |
C03C15/00;C03C27/00;C30B33/00;H01J9/12;H01J9/233;H01J29/38;H01J29/45;H01L21/306;H01L21/316;H01L29/12;H01L31/00;(IPC1-7):H01J9/12 |
主分类号 |
C03C15/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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