METHOD OF PRODUCING RESIST PATTERNS,申请号EP19810107370-传众专利搜索

发明名称	METHOD OF PRODUCING RESIST PATTERNS
摘要
申请公布号	EP0048899(A3)	申请公布日期	1983.01.19
申请号	EP19810107370	申请日期	1981.09.17
申请人	SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT	发明人	BIRKLE, SIEGFRIED, DR.;RUBNER, ROLAND, DR.;HAUSCHILDT, HANS;RISSEL, EVA-MARIA
分类号	C08F220/10;C08F222/32;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/20;G05F1/577;(IPC1-7):G03F7/10	主分类号	C08F220/10
代理机构		代理人
主权项
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