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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 EP0029987(A3) 申请公布日期 1983.01.19
申请号 EP19800107316 申请日期 1980.11.24
申请人 TOKYO SHIBAURA DENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 SASAKI, YOSHITAKA;OZAWA, OSAMU
分类号 H01L21/331;H01L21/74;H01L21/8226;H01L27/02;H01L27/082;H01L29/08;H01L29/73;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/82;H01L21/32 主分类号 H01L21/331
代理机构 代理人
主权项
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