发明名称 FORMATION OF BERYLLIUM OXIDE FILMS
摘要
申请公布号 GB2054542(B) 申请公布日期 1983.01.19
申请号 GB19800024304 申请日期 1980.07.24
申请人 FUTABA DENSHI KOGYO KK 发明人
分类号 C23C14/06;B01J19/08;C01F3/02;C04B35/08;C23C14/00;C23C14/08;C23C14/32;C23C14/56;C30B25/02;C30B25/06;C30B28/12;C30B28/14;C30B29/16 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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