发明名称 SLIT EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号 EP0045102(A3) 申请公布日期 1982.02.10
申请号 EP19810200758 申请日期 1981.07.03
申请人 OCE-NEDERLAND B.V. 发明人 HOVENS, PETRUS JOHANNES PETRONELLA;WILLEMSE, ADRIANUS HENRICUS
分类号 G03B27/50;G03B27/52;G03G15/04;G03G15/28;(IPC1-7):G03B27/52 主分类号 G03B27/50
代理机构 代理人
主权项
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