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发明名称 ELECTRON BEAM INVESTIGATION PROCESS AND ELECTRON IMPACT SPECTROMETER THEREFOR
摘要
申请公布号 DE2964232(D1) 申请公布日期 1983.01.13
申请号 DE19792964232 申请日期 1979.12.20
申请人 KERNFORSCHUNGSANLAGE JULICH GESELLSCHAFT MIT BESCHRANKTER HAFTUNG 发明人 FROITZHEIM, HERMANN, DR.;IBACH, HARALD, PROF. DR.;BRUCHMANN, HEINZ-DIETER;LEHWALD, SIEGHARD, DR.
分类号 G01N23/20;H01J37/04;H01J37/10;(IPC1-7):H01J37/04 主分类号 G01N23/20
代理机构 代理人
主权项
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