发明名称 DRY-DEVELOPING RESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 EP0067066(A3) 申请公布日期 1983.01.12
申请号 EP19820302946 申请日期 1982.06.08
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 NAITO, JIRO;YONEDA, YASUHIRO;KITAMURA, KENROH
分类号 C08F290/00;C08F299/00;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/11;G03F7/30;G03F7/36;(IPC1-7):G03F7/26;G03C1/72;G03F7/00 主分类号 C08F290/00
代理机构 代理人
主权项
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