发明名称 METHOD FOR FORMING LOW-RESISTIVE DIFFUSION REGIONS IN THE SILICON-GATE-TECHNOLOGY
摘要
申请公布号 EP0022474(B1) 申请公布日期 1983.01.12
申请号 EP19800103196 申请日期 1980.06.09
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 WIDMANN, DIETRICH, DR.
分类号 H01L27/04;H01L21/033;H01L21/28;H01L21/321;H01L21/768;H01L21/822;H01L21/8234;H01L27/10;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/90 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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