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发明名称 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM WECHSEL EINER SCHABLONE IN EINER ROENTGENLITHOGRAFIEANLAGE
摘要
申请公布号 DD159364(A1) 申请公布日期 1983.03.02
申请号 DD19810230481 申请日期 1981.06.02
申请人 HOFFMANN,GOTTFRIED,DD 发明人 HOFFMANN,GOTTFRIED,DD
分类号 G03F1/88;(IPC1-7):G03F1/02 主分类号 G03F1/88
代理机构 代理人
主权项
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