发明名称 LAST-STAGE PROGRAMMING OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUITS BY ION IMPLANTATION
摘要
申请公布号 GB2028581(B) 申请公布日期 1983.01.12
申请号 GB19790018750 申请日期 1979.05.30
申请人 STANDARD MICROSYSTEMS CORP 发明人
分类号 H01L29/78;H01L21/265;H01L21/3213;H01L21/336;H01L21/76;H01L21/8246;H01L29/10;(IPC1-7):H01L27/10;H01L21/26 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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