| 发明名称 |
A METHOD OF FABRICATING A SELF-ALIGNING INTEGRATED CIRCUIT STRUCTURE USING DIFFERENTIAL OXIDE GROWTH |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0051534(A3) |
申请公布日期 |
1983.01.12 |
| 申请号 |
EP19810401722 |
申请日期 |
1981.10.28 |
| 申请人 |
FAIRCHILD CAMERA & INSTRUMENT CORPORATION |
发明人 |
VORA, MADHUKAR B. |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/033;H01L21/225;H01L21/316;H01L21/321;H01L21/331;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/41;(IPC1-7):H01L21/82;H01L21/30 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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