发明名称 Photoresist composition.
摘要
申请公布号 EP0068808(A2) 申请公布日期 1983.01.05
申请号 EP19820303276 申请日期 1982.06.23
申请人 JAPAN SYNTHETIC RUBBER CO., LTD. 发明人 KAMOSHIDA, YOUICHI;YOSHIHARA, TOSHIAKI;HARITA, YOSHIYUKI;HARADA, KUNIHIRO
分类号 G03C1/00;C08K5/18;G03C1/83;G03F7/004;G03F7/09;(IPC1-7):G03F7/26;C07C97/10;C08L9/00;C08F36/04;C08F136/04;C08F236/04;G03C1/71;G03C1/60 主分类号 G03C1/00
代理机构 代理人
主权项
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