发明名称 MONITOR
摘要
申请公布号 JPS6366695(A) 申请公布日期 1988.03.25
申请号 JP19860211011 申请日期 1986.09.08
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ABE TOSHIO
分类号 G01R19/155;G08C23/00;G08C23/04;H01L31/00;H01L31/042 主分类号 G01R19/155
代理机构 代理人
主权项
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