| 发明名称 |
ANORDNUNG ZUM MESSEN DES ELEKTRISCHEN WIDERSTANDES UND DER TEMPERATUR VON DURCH AUFDAMPFEN ODER AUFSTAEUBEN AUF SUBSTRATEN ABGESCHIEDENEN DUENNEN METALLISCH-LEITENDEN SCHICHTEN WAEHREND DER SCHICHTHERSTELLUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3123427(A1) |
申请公布日期 |
1982.12.30 |
| 申请号 |
DE19813123427 |
申请日期 |
1981.06.12 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
HIEBER,KONRAD,DIPL.-PHYS.DR.RER.NAT.;MAYER,NORBERT,DR.RER.NAT. |
| 分类号 |
G08C17/00;C23C14/54;G01K7/16;G01K13/00;G01R27/02;G01R31/28;G01R31/302;H01C17/22;H01L21/66;(IPC1-7):C23C13/08;C23C13/02;C23C15/00;G08C15/12;H01C17/00 |
主分类号 |
G08C17/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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