发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR PREPARATION OF SINGLE CRYSTAL OF COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS57209897(A) 申请公布日期 1982.12.23
申请号 JP19810093633 申请日期 1981.06.17
申请人 SUMITOMO DENKI KOGYO KK 发明人 AKAI SHINICHI;SHIMODA TAKASHI;FUJITA KEIICHIROU;KITOU NOBUHIRO
分类号 C30B11/00;C30B11/04;C30B11/06;C30B29/40;H01L21/02;H01L21/208 主分类号 C30B11/00
代理机构 代理人
主权项
地址