发明名称 MANUFACTURE OF FIELD-EFFECT TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH01232771(A) 申请公布日期 1989.09.18
申请号 JP19880059905 申请日期 1988.03.14
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 FURUYAMA HIDETO;SUZUKI NOBUO
分类号 H01L27/095;H01L21/338;H01L27/14;H01L27/15;H01L29/80;H01L29/812;H01S5/00;H01S5/026;H01S5/042 主分类号 H01L27/095
代理机构 代理人
主权项
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