发明名称 ACOUSTIC DISTANCE OR THICKNESS MEASUTING DEVICE
摘要
申请公布号 GB2020808(B) 申请公布日期 1982.12.22
申请号 GB19790014935 申请日期 1979.04.30
申请人 TENCOR INSTRUMENTS 发明人
分类号 G01R27/02;G01R31/26;G01S15/32;(IPC1-7):G01S9/68 主分类号 G01R27/02
代理机构 代理人
主权项
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