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发明名称 CONTROLLED EXPOSURE
摘要
申请公布号 GB2100453(A) 申请公布日期 1982.12.22
申请号 GB19820011674 申请日期 1982.04.22
申请人 HITACHI LTD;ZEISS JENA CARL VEB 发明人
分类号 H05K3/00;G03B27/02;G03F7/20;H01L21/30;(IPC1-7):G03B27/00 主分类号 H05K3/00
代理机构 代理人
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