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发明名称 MANUFACTURE OF INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH02183552(A) 申请公布日期 1990.07.18
申请号 JP19890003019 申请日期 1989.01.09
申请人 NEC CORP 发明人 UENO SEIICHI
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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