| 发明名称 |
METHOD OF CONTROLLING PENETRATION OF DOPANT INTO SEMICONDUCTOR DEVICES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2034972(B) |
申请公布日期 |
1982.12.22 |
| 申请号 |
GB19790035143 |
申请日期 |
1979.10.10 |
| 申请人 |
DEFENCE SECRETARY OF STATE FOR |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/22;H01L21/764;H01L27/148;(IPC1-7):H01L21/22 |
主分类号 |
H01L21/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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