| 发明名称 |
IN-DOPED DISLOCATIOIN-FREE PULLED GALLIUM ARSENIDE SINGLE CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03159998(A) |
申请公布日期 |
1991.07.09 |
| 申请号 |
JP19890202022 |
申请日期 |
1989.08.03 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
TAKAHASHI TORU;TAKAHASHI SHINICHI;TAKAYA MASATERU |
| 分类号 |
C30B15/04;C30B27/02;C30B29/42;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B15/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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