发明名称 UN METODO DE FABRICACION DE UNA ALEACION SEMICONDUCTORA
摘要 <p>METODO DE FABRICACION DE UNA ALEACION SEMICONDUCTORA DE TIPO P. SE DEPOSITA SOBRE UN SUSTRATO UN MATERIAL QUE CONTENGA COMO MINIMO SILICIO, MEDIANTE DESCARGA LUMINISCENTE DE UN COMPUESTO QUE CONTIENE POR LO MENOS SILICIO,EN UNA ATMOSFERA A VACIO PARCIAL. DURANTE LA DEPOSICION POR DESCARGA LUMINISCENTE DEL MATERIAL SE INTRODUCE UN METAL EVAPORADO COMO ELEMENTO P-IMPURIFICADOR EN LA REGION DE DESCARGA LUMINISCENTE DONDE SE DEPOSITA EL SILICIO,CUYO ELEMENTO METALICO P-IMPURIFICADOR SE DEPOSITA CON EL MATERIAL DE SILICIO DEPOSITADO POR DESCARGA LUMINISCENTE PARA PRODUCIR UNA ALECAION DEL TIPO P.</p>
申请公布号 ES8207658(A1) 申请公布日期 1982.12.16
申请号 ES19810005022 申请日期 1981.05.18
申请人 ENERGY CONVERSION DEVICES,INC. 发明人
分类号 H01L31/04;C23C16/517;C23C16/54;H01L21/205;H01L27/142;H01L31/16;H01L31/18;(IPC1-7):01L21/223;01L31/18 主分类号 H01L31/04
代理机构 代理人
主权项
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