BEAM GENERATING SYSTEM FOR ELECTRON BEAM MEASURING INSTRUMENTS,申请号EP19880114377-传众专利搜索

发明名称	BEAM GENERATING SYSTEM FOR ELECTRON BEAM MEASURING INSTRUMENTS
摘要
申请公布号	EP0309767(B1)	申请公布日期	1991.11.06
申请号	EP19880114377	申请日期	1988.09.02
申请人	SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT	发明人	LISCHKE, BURKHARD, PROF. DR.;WINKLER, DIETER, DIPL.-ING.
分类号	H01J37/06;H01J1/18;H01J37/07;H01J49/08	主分类号	H01J37/06
代理机构		代理人
主权项
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