| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR THIN FILM FORMATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04218664(A) |
申请公布日期 |
1992.08.10 |
| 申请号 |
JP19910077524 |
申请日期 |
1991.04.10 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
NAKAGAMI YUICHI;KUROKAWA HIDEO;MITANI TSUTOMU |
| 分类号 |
C23C14/24;C23C14/34;C23C14/50;C23C16/27;C23C16/44;C23C16/458 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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